測(cè)量顯微鏡107JA采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室，生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)以及科學(xué)研究等部門(mén)
測(cè)量顯微鏡107JA
一、用途：
107JA測(cè)量顯微鏡，采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室，生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)以及科學(xué)研究等部門(mén)。
儀器進(jìn)一步可連接CCD攝像頭等視頻系統(tǒng)，對(duì)工件的輪廓放大后在顯示器上瞄準(zhǔn)，提高測(cè)量精度。亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。是一種理想的多用途的小型精密測(cè)量?jī)x器。
二、技術(shù)規(guī)格
鏡筒 | 粗 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 90毫米 | |
微 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 2毫米 | ||
高（Z)測(cè)量 | 1毫米zui小讀數(shù)0.001毫米（干分表讀數(shù)） | ||
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | ||
工作臺(tái) | 左右（X軸） | 移動(dòng)范圍50毫米 | |
前后（Y)軸 | 移動(dòng)范圍50毫米 | ||
分 辨 率 | 1微米 | ||
旋 轉(zhuǎn) | 360° | ||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍(lán)、綠濾色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | ||
斜照明 | 8V-15W | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X | |
物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 | ||
10X 工作距離11.6 焦距15.4 | |||
40X 工作距離0.66 焦距4.4 | |||
本儀器采用數(shù)顯讀數(shù)頭，操作方便，可靠性強(qiáng)。
加裝光柵測(cè)量尺和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，通過(guò)計(jì)算機(jī)接口和二維測(cè)量程序可使被測(cè)工件的輪廓直接顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上，可導(dǎo)入AutoCAD進(jìn)行編輯。
儀器升級(jí)：
二維測(cè)量程序包括點(diǎn)、線(xiàn)、園、弧、直線(xiàn)度、園度、螺紋、凸輪等測(cè)量功能。本儀器放大倍數(shù)高，工作臺(tái)除作X，Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360°的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外，還有斜光線(xiàn)照明。
測(cè)量顯微鏡107JA
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